偉世德測控技術（天津）有限公司
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模擬型氣體質量流量控制器技術參數量程：5sccm～3000slm(N2當量）精度：±1
模擬型氣體質量流量控制器
技術參數
量程： 5sccm～3000slm(N2當量）
精度： ±1.0%F.S
量程比： 50: 1 (流量控制器） 100: 1 (流量計）
重復精度： ±0.2%F.S
線性精度： ±0.5%F.S
環境溫度： 5～45°C
溫度系數：＜±0.1%F.S/°C
壓力系數：＜±0.5%bar
泄漏率： <2* 10-8satm. ml/S
耐壓： 3MPa (流量小于30slm 可選6MPa)
供電： +15～24vdc
模擬信號：0～5vdc 或4～20mA
連接方式：卡套式連接或VCR連接
（連接尺寸根據客戶需求而定）
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