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大面積涂裝的生產通常涉及到涂裝線中的許多濺射陰極,每一個陰極都會導致生產的不確定性
大面積涂裝的生產通常涉及到涂裝線中的許多濺射陰極,每一個陰極都會導致生產的不確定性。
光學生產控制是必要的,它可以在線提供目前生產的涂層信息。在大多數情況下,當最終產品離開真空時,透射率、反射率或橢偏光譜被記錄在陰極組之間或直接在涂裝線后面:
以CODE軟件(薄膜產品分析與設計程序)為基礎開發了BREIN軟件包,該軟件包主要用于大型涂裝線中多層涂層的光控制生產。BREIN的全稱是BRight Eye INspection network:它管理著幾個被稱為“BRight Eyes"(BE)的觀測站,這些站點分析涂裝線內或之后某個特定位置的光譜:
在對產品進行分析之前,每個 BE 都要提取出生產線上前一個BE獲取的結果。這種方法只需要分析個BE之后新沉積的層——每一個BE的計算工作量通常都很低,甚至可以在速度較慢的嵌入式計算機上完成。另外,幾個BE分析步驟可以在同一臺計算機上完成。主BREIN應用程序收集BE結果并顯示產品的當前狀態。作業人員可以利用這些信息對生產條件的變化做出決策。下面的圖表顯示了典型的BREIN設置方案。在亮眼觀測站BE1……BE4記錄的光譜被存儲在一個服務器上,并在兩臺計算機(PC 1 和 PC 2)上進行分析。
分析結果存儲在存儲設備上的數據庫中:
可以通過各種方式過濾和查看數據庫內容,提供關于生產歷史的信息。在操作層,重要的涂層參數以圖形方式顯示,藍色表示過高,紅色表示過低。參數值的警告級別用紅線表示。操作人員可以方便地查看涂層參數的時間變化,如下屏截圖所示:
掃描窗格的亮眼觀測站可以計算和導出獲得參數輪廓的統計參數。確定各參數的平均值、標準差和范圍。您可以為這些值定義規格,并將窗格劃分為“Good"或“Bad",這取決于與配置文件統計信息相關的窗格性能。
BREIN可以耦合到被廣泛用于大面積涂布的Zeiss OptoPlex NG.Q 系統上。
BREIN可以連接到外部SQL數據庫來導出生產控制結果。
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