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羅茨真空機(jī)組的抽速比
一、抽速比的定義與重要性
羅茨真空機(jī)組抽速比是羅茨真空泵與前級真空泵抽速之間的比值,它反映了兩者在機(jī)組中的相對工作能力。正確的抽速比選擇可以確保機(jī)組在有效、穩(wěn)定的狀態(tài)下運(yùn)行,提高抽真空速度和效率。
二、抽速比的選擇原則
1.體積效率與壓差:羅茨真空泵的抽速與前級真空泵的抽速之間的關(guān)系主要取決于體積效率和羅茨真空泵的壓差。如果容積效率低,則羅茨真空泵裝置的有效抽速會大幅下降。羅茨真空泵的允許壓差通常在40~100hPa之間,當(dāng)壓差超過此范圍時,壓縮功將導(dǎo)致轉(zhuǎn)子過熱并被卡住。
3.預(yù)抽時間要求:如果羅茨真空機(jī)組的正常工作時間遠(yuǎn)比預(yù)抽時間長,可選較小的前級泵(壓縮比可大些)。若真空室較大,而且要求很快預(yù)抽,就用較大的前級泵。
三、抽速比的具體應(yīng)用
1.短時間抽真空周期:在需要實現(xiàn)很短時間的抽真空周期的應(yīng)用中,選型時羅茨泵與前級泵的抽速比一般為2:1或更小一些。因為前級泵在100mbar以上壓力的抽真空工作時間占據(jù)了整個抽真空時間的大部分,而羅茨泵只能在50mbar以下的壓力下保持有效運(yùn)行。
2.多級機(jī)組配置:為了獲得在低入口壓力(1~100Pa)時的高抽氣速率,可用一臺羅茨真空泵作為另一臺羅茨真空泵的前級泵組成的三級或四級機(jī)組。此時羅茨真空泵之間的抽速比一般在2~5之間。
3.液體侵入防護(hù):
為防止突然的液體侵入損壞泵,有必要在羅茨泵進(jìn)氣口之前安裝一個緩沖的氣液分離罐。這可以確保液體會被截留而不會直接進(jìn)入羅茨泵,從而保護(hù)羅茨真空機(jī)組免受損壞。
綜上所述,羅茨真空機(jī)組的抽速比選擇需要根據(jù)具體的應(yīng)用需求、設(shè)備性能以及工作環(huán)境進(jìn)行綜合考慮。正確的抽速比選擇可以確保機(jī)組的有效、穩(wěn)定運(yùn)行,提高抽真空速度和效率。
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