臭氧發生器工作原理是當含氧氣的氣體通過兩個電極間的放電間隙時，部分氧氣分子(O2)會被轉化為臭氧(O3)從而實現臭氧制備。當高壓電極上帶有變化的高電壓時，電極之間的放電間隙處會產生微放電，氧氣分子被分解為自由態的氧原子O，部分自由態的氧原子與未分解的氧氣分子重新結合生成臭氧(O3)即 O+O2=O3，被稱為“電暈放電”或“無聲放電”。事實上施加在電極上的電能只有一部分用于制備臭氧，制備過程中同時還會產生熱量，需要通過冷卻水來有效冷卻臭氧發生模塊。臭氧制備過程受原料氣的質量和冷卻水的溫度影響比較顯著，溫度越低，臭氧制備效率越高。